수원부장검사출신변호사 하이닉스, ‘최첨단 EUV 장비’로 D램 생산

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작성자 이길중 작성일25-09-06 07:24 조회49회 댓글0건

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수원부장검사출신변호사 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다.
SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다.
SK하이닉스는 “장비 도입으로 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 했다.
한편 인공지능(AI) 연산을 지원하는 고부가가치인 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%였다.
이날 개최된 장비 도입 기념행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, SK하이닉스 차선용 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 밝혔다.
이재명 대통령은 2일 “군인도 민주주의 소양을 키울 필요가 있다”며 안규백 국방부 장관에게 군대 내 민주주의 교육과정을 마련하라고 지시했다.
이 대통령은 이날 용산 대통령실에서 삼정검 수치 수여식을 진행한 뒤 열린 1시간여 간담회에서 이같이 말했다고 강유정 대통령실 대변인이 밝혔다.
삼정검은 국군의 세 가지 기본사명인 삼정(호국·통일·번영)을 새겨 넣은 의전용 장검으로, 중장 이상 진급이나 보직 시 대통령이 직접 삼정검에 보직·계급·이름이 새겨진 수치(끈으로 된 깃발)를 달아 준다.
이 대통령은 간담회에서 “정권이 아니라 국가에 충성하고, 개인이 아니라 직위로 복무해야 한다. 사람에 충성하지 말고 국민을 바라봐 달라”고 말했다. 그는 또 “군에 대한 국민의 신뢰가 지난 불법 계엄으로 많이 망가졌다”며 “이를 되살리기 위해 노력해야 한다”고 밝혔다.
이 대통령은 이 자리에서 병영 내 사고가 줄었는지, 초급 간부들에 대한 대우가 어떤지도 물었다. 참석자들은 “(사고는) 작년과 비교해 많이 줄었고 사전식별 노력이 상당히 효과를 거둔 것 같다”고 답했고, 처우와 관련해서는 “역량이 뛰어난 MZ(세대) 병사들에게 부합하는 선진병영 환경을 만들어야 한다”고 말했다.
이 대통령은 이날 선친이 공군 부사관이었던 개인 일화를 소개하며 참석자들에 유대감을 전하기도 했다고 강 대변인은 말했다.
이날 수여식에는 안 장관을 비롯해 진영승 합동참모의장, 김규하 육군참모총장, 강동길 해군참모총장, 손석락 공군참모총장, 김성민 한미연합사 부사령관, 주성운 육군 지상작전사령관, 김호복 육군 제2작전사령관 등 전날 대장 자리로 승진 이동한 4성 장군 7명 전원이 참석했다.
정부는 전날 첫 군 수뇌부 인사를 통해 12·3 불법계엄 당시 군 수뇌부로 있었던 현역 4성 장군 7명을 모두 교체했다. 군에 대한 인적 쇄신의 신호탄으로, 점진적인 군 개혁을 꾀하는 안 장관과 능력을 중시하는 정부의 기조가 영향을 미쳤다는 분석이 나왔다.